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維薩拉 BAROCAP? 壓力傳感器技術
日期：2024-09-20 10:54
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摘要：
維薩拉 BAROCAP® 是維薩拉于 1985 年第 一次推出一種硅基微型機械壓力傳感器，可以在從氣象到工業(yè)測量的廣泛應用中提供可靠的性能。因為結合 采用了兩項強大技術 —— 單晶硅材料和電容測量，所以其 BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準確度和長期穩(wěn)定性的特點。
工作原理
BAROCAP 是一種微型機械傳感器，它利用其硅膜的尺寸變化來測量壓力。隨著周圍壓力增加或降低，膜會彎曲，從而增大或減小傳感器內部真空間隙的高度。真空間隙相對的兩個面充當電極，隨著兩個電極之間距離的變化，傳感器的電容也會...
維薩拉 BAROCAP® 是維薩拉于 1985 年第 一次推出一種硅基微型機械壓力傳感器，可以在從氣象到工業(yè)測量的廣泛應用中提供可靠的性能。因為結合 采用了兩項強大技術 —— 單晶硅材料和電容測量，所以其 BAROCAP 傳感器具有低滯后性、出色的準確度和長期穩(wěn)定性的特點。
工作原理
BAROCAP 是一種微型機械傳感器，它利用其硅膜的尺寸變化來測量壓力。隨著周圍壓力增加或降低，膜會彎曲，從而增大或減小傳感器內部真空間隙的高度。真空間隙相對的兩個面充當電極，隨著兩個電極之間距離的變化，傳感器的電容也會發(fā)生變化。測量電容并將其轉換為壓力讀數(shù)。BAROCAP 傳感器屬性 —— 該傳感器的單晶硅材質帶來了良好的特性：彈性好、滯后性低、重復性好、低溫依賴性和卓 越的長期穩(wěn)定性。電容式結構使傳感器具有較寬的動態(tài)范圍，并為超壓阻斷提供了內置機制。